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超景深顯微鏡

簡要描述:v本套系統主要用于材料表面形貌的觀察;平面或三維測量

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更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 本套系統主要用于材料表面形貌的觀察;平面或三維測量。可采用3D觀測模式,對被測物形狀,粗糙度,表面積等進行測量,可以做高度,寬度,橫截面,角度,R值,表面積,體積,線粗糙度,面粗糙度等的測量分析。同時可以做材料斷口、金相的觀測,陶瓷,微流道,微加工,現代加工制造,MEMS研究,微納制造等

v 光源類型:404nm半導體激光

v X/Y方向測量顯示分辨率1nm

v Z向測量顯示分辨率0.5 nm

v 面掃描速度:125Hz、線掃描速度≥7900Hz

v 角度特性:穩定測量傾角87.1度的斜面

v XY載物臺電動運行范圍:≥100mm*100mm


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