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Nikon NSR 2205i11D
1.Nikon NSR 2205i11D步進式光刻機
光源波長365nm
分辨率優于0.4µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.4µm
N.A.0.63
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現場22mm*22mm
對準精度
LSA:75nm
FIA:80nm
3.更多服務
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造。
常年提供所有備件、耗材。