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Nikon S205C掃描式光刻機

簡要描述:NikonS205C1

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

245
詳細(xì)介紹

Nikon S205C

1.Nikon S205C掃描式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.15µm

主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.15µm

N.A.0.75

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場25mm*33mm

對準(zhǔn)精度

LSA:35nm

FIA:40nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及8"、12"設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材



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