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光學輪廓儀

簡要描述:v測量模式:PSl,USl,VSl,選配的Filmv掃描量程:≤10mmv橫向分辨率:0

基礎信息

產品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數

315
詳細介紹

v 測量模式:PSl, USl, VSl, 選配的 Film

v 掃描量程:10 mm

v 橫向分辨率:

0.38 um minimum (Sparrow criterion)

0.13 um (with AcuityXR)

v 垂直分辨率:<0.01 nm

v 臺階高度重復性:<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

v 掃描速度:122 um/sec (with laser reference)

v 樣品反射率范圍:0.05% to 99%

v 樣品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) 249 mm H 自動樣品臺

v 樣品重量:45 kg (77 kg without standard stage)

v XY 品臺:300 mm 自動樣品臺

v Z 軸聚焦:249(350 mm 不帶自動臺)

v 光源:雙LED光源

v 物鏡:

Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

LWD: 1X, 2X, 5X10X

TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

v 放大器:0.55X0.75X1X1.5X, 2X auto-sensing modules


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