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一、產品介紹
CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源設計，清洗快速高效，低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。
二、產品特點
u 遠程離子清洗源
u 一機多用
u 清洗快速高效，低轟擊損傷
三、技術參數
產品型號 | CIF-TEM |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-120W可調 |
遠程等離子源，自動匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸?180xH100mm |
清洗數量 | 可同時清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL |
氣體控制 | 標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 質量流量計（MFC），皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
真空泵 | 前級泵 |
抽氣速率2 L/s | |
分子泵 | |
極限真空:CF:5x10-6Pa，ISO-K: 3x10-5Pa | |
分子泵抽速>80L/s （N2） | |
入口法蘭：DN100CF/DN100 ISO-K | |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |
電 源 | 220V，50/60Hz，300W |
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實驗室型等離子清洗機
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