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Nikon S208D掃描式光刻機

簡要描述:NikonS208D1

基礎信息

產品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數

213
詳細介紹

Nikon S208D

1.Nikon S208D掃描式光刻機

光源波長248nm

分辨率優于0.11µm

主要用于8寸及12寸生產線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產品詳情

主要技術指標

分辨率0.11µm

N.A.0.82

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現場26mm*33mm

對準精度15nm

3.更多服務

提供中英文軟件及8"、12"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材



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