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Nikon S308F掃描式光刻機

簡要描述:NikonS308F1

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

228
詳細介紹

Nikon S308F

1.Nikon S308F掃描式光刻機

光源波長193nm

分辨率優(yōu)于0.07µm

主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術指標

分辨率0.07µm

N.A.0.92

曝光光源193nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場26mm*33mm

對準精度12nm

3.更多服務

提供中英文軟件及4"、6"、8"、12"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材



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